中微半导体设备（上海）股份有限公司（AMEC）公布了强劲的2025年业绩，在主导的刻蚀设备业务和快速扩张的新兴薄膜沉积业务的推动下，实现了显著的营收和利润增长。这一表现凸显了半导体行业的强劲需求以及中微公司新产品线的成功规模化，为其持续的市场份额增长奠定了基础。
根据中微半导体设备（上海）股份有限公司（AMEC）于2026年3月30日发布的年报，该公司2025财年营收同比增长36.62%，达到123.85亿人民币。归属于母公司所有者的净利润增长30.69%，达到21.11亿人民币。营收增长主要集中在下半年，其中第四季度营收创纪录地达到43.22亿人民币，并实现净利润9.00亿人民币。公司核心刻蚀设备业务仍然是主要驱动力，随着其先进逻辑和存储应用的出货量增加，该业务销售额增长35.12%至98.32亿人民币。
中微公司报告中最亮眼的表现是其低压化学气相沉积（LPCVD）设备业务。该部门销售额飙升224.23%，达到5.06亿人民币。这种快速增长表明产品已超越初始验证阶段，获得批量生产的重复订单，累计出货量现已超过300个反应腔室。这一业绩为中微公司确立了明确的第二增长引擎，使其收入来源多样化，并巩固了其作为先进半导体制造工艺供应商的地位，这些工艺日益依赖于涉及刻蚀和薄膜沉积的多重图案化技术。
在强劲盈利的同时，中微公司宣布了一项股东回报计划，包括现金分红和大规模送股。公司提议每10股派发3.50人民币现金股利，总计约2.19亿人民币。更重要的是，计划每10股送4.9股新股，此举将使其总股本从62.6亿股扩大至93.3亿股。尽管公司盈利能力强劲，但部分得益于5.62亿人民币的非经常性收益。中微公司还将研发费用提高了74.61%至24.75亿人民币，这是一项为未来增长提供资金并支持其计划收购杭州中科立电子科技以拓展“湿法”工艺解决方案的战略决策。